真空爐即真空熱處理爐，根據應用設備來區分，大概包含以下種類：
真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結爐、真空擴散焊爐、真空滲碳爐等。
真空爐按加熱方式分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。
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真空爐按加熱方式分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。
