粉末冶金法:通過(guò)將銦粉末在高溫下壓制和燒結(jié)成型,可有效控制雜質(zhì)含量,能制造出形狀復(fù)雜的靶材,制得的靶材具有較高的致密度和均勻性。
熔煉法:將銦材料加熱至熔點(diǎn)以上,使其成為液態(tài),然后通過(guò)鑄?;蚱渌尚凸に囍圃彀胁?,該方法簡(jiǎn)單快捷,但控制純度和均勻性相對(duì)較難。
熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機(jī)械強(qiáng)度,同時(shí)有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質(zhì)在室溫下對(duì)銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來(lái)提高其機(jī)械性能。
化合物半導(dǎo)體器件
場(chǎng)景:用于制造銦鎵砷(InGaAs)、銦磷(InP)等化合物半導(dǎo)體芯片,廣泛應(yīng)用于 5G 通信基站、雷達(dá)、光纖通信等高頻電子設(shè)備。
作用:提升器件的高頻性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
銦靶是現(xiàn)代電子信息、新能源、高端制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的底層關(guān)鍵材料,其應(yīng)用深度和廣度直接反映一個(gè)國(guó)家在半導(dǎo)體、顯示、光伏等領(lǐng)域的技術(shù)水平。由于全球銦資源稀缺(主要伴生于鋅礦),且提純工藝復(fù)雜,銦靶的供應(yīng)鏈已成為各國(guó)關(guān)注的重點(diǎn)。未來(lái),隨著 5G、AI、新能源汽車(chē)等產(chǎn)業(yè)的爆發(fā),銦靶的需求將持續(xù)增長(zhǎng),同時(shí)推動(dòng)高純銦(99.999% 以上)制備技術(shù)的不斷突破。

