光伏領(lǐng)域:在薄膜太陽(yáng)能電池中,銦靶材可作為光吸收層形成用的濺射靶,如 Cu-In-Ga-Se 系(CIGS 系)薄膜太陽(yáng)能電池,有助于提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
濺射氣體控制
氣體純度:使用高純氬氣(99.999% 以上),避免氧氣、水汽混入導(dǎo)致銦靶氧化(氧化銦導(dǎo)電性下降,易形成電弧放電)。
氣壓調(diào)節(jié):
直流濺射(DC):氣壓通常為 0.1~10 Pa,低氣壓下濺射速率高但薄膜致密度低;高氣壓下薄膜均勻性好但沉積速率慢。
射頻濺射(RF):適用于絕緣基底,氣壓可略高于直流濺射,需根據(jù)薄膜厚度要求動(dòng)態(tài)調(diào)整。
防護(hù)措施
個(gè)人防護(hù):操作時(shí)佩戴防靜電手套、護(hù)目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風(fēng)良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠(yuǎn)離明火,廢棄靶材及碎屑應(yīng)收集于專用容器中,按危險(xiǎn)廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時(shí)需確保設(shè)備接地良好,防止電磁輻射對(duì)操作人員或周邊儀器的干擾。
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