熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機(jī)械強(qiáng)度,同時(shí)有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質(zhì)在室溫下對(duì)銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來(lái)提高其機(jī)械性能。
顯示領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導(dǎo)電薄膜,提高顯示器的性能和質(zhì)量。
化合物半導(dǎo)體器件
場(chǎng)景:用于制造銦鎵砷(InGaAs)、銦磷(InP)等化合物半導(dǎo)體芯片,廣泛應(yīng)用于 5G 通信基站、雷達(dá)、光纖通信等高頻電子設(shè)備。
作用:提升器件的高頻性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
靶材回收與再利用
回收價(jià)值:報(bào)廢銦靶(含濺射過(guò)程中產(chǎn)生的碎屑、廢膜)可通過(guò)化學(xué)溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達(dá) 95% 以上),降低生產(chǎn)成本。
環(huán)保要求:回收過(guò)程中產(chǎn)生的廢水需處理至重金屬排放標(biāo)準(zhǔn)(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。

