純化技術(shù)
區(qū)熔法:一種通過熔化和重新結(jié)晶來純化材料的方法,可有效去除銦中的雜質(zhì),提高其純度。
電解精煉:利用電化學(xué)反應(yīng)將銦從雜質(zhì)中分離出來。將銦材料作為陽極,置于電解液中,通過施加電流使銦離子在陰極上沉積,從而得到高純度的銦。
化學(xué)純化:利用化學(xué)反應(yīng)去除銦中的雜質(zhì),例如通過溶劑萃取和化學(xué)沉淀等方法,可有效分離和去除雜質(zhì),提高銦的純度。
先進(jìn)封裝技術(shù)
應(yīng)用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實(shí)現(xiàn)芯片與基板的電氣連接和熱傳導(dǎo)。
特點(diǎn):低熔點(diǎn)(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
銦靶是現(xiàn)代電子信息、新能源、高端制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的底層關(guān)鍵材料,其應(yīng)用深度和廣度直接反映一個(gè)國家在半導(dǎo)體、顯示、光伏等領(lǐng)域的技術(shù)水平。由于全球銦資源稀缺(主要伴生于鋅礦),且提純工藝復(fù)雜,銦靶的供應(yīng)鏈已成為各國關(guān)注的重點(diǎn)。未來,隨著 5G、AI、新能源汽車等產(chǎn)業(yè)的爆發(fā),銦靶的需求將持續(xù)增長(zhǎng),同時(shí)推動(dòng)高純銦(99.999% 以上)制備技術(shù)的不斷突破。
濺射氣體控制
氣體純度:使用高純氬氣(99.999% 以上),避免氧氣、水汽混入導(dǎo)致銦靶氧化(氧化銦導(dǎo)電性下降,易形成電弧放電)。
氣壓調(diào)節(jié):
直流濺射(DC):氣壓通常為 0.1~10 Pa,低氣壓下濺射速率高但薄膜致密度低;高氣壓下薄膜均勻性好但沉積速率慢。
射頻濺射(RF):適用于絕緣基底,氣壓可略高于直流濺射,需根據(jù)薄膜厚度要求動(dòng)態(tài)調(diào)整。

