火法-濕法聯合工藝
結合兩種工藝優勢提升效率：
廢靶材先經回轉窯1200℃揮發富集，銦含量從0.1%提升至0.5%。
富銦煙塵通過酸浸-萃取-電解流程精煉，整體回收率從傳統工藝的54%提升至85%。
該方案投資成本較單一濕法降低30%，但需配套煙氣凈化系統防止銦揮發損失。
總結：隨著光伏和顯示面板產業擴張，2025年中國ITO靶材回收市場規模預計突破50億元。物理法因成本優勢（處理成本2000元/噸）在中小型企業普及，而大型企業更傾向聯合工藝（綜合回收率>90%）。
未來發展方向將聚焦：短流程設計（工序減少40%）、智能化控制系統（能耗降低25%）、以及銦錫同步回收技術的突破。
多種類回收技術如濕法冶金、火法冶金和物理分離法，提供了靈活的回收方式以適應不同的廢物類型和規模需求。濕法冶金回收中，酸浸法通過使用鹽酸或硫酸來溶解ITO廢料，使得銦以In3?的形式進入溶液。隨后，可以利用溶劑萃取、置換反應（例如，使用鋅粉進行置換）或電解法來進一步回收銦。生物浸出法利用特定的微生物，如硫氧化，來選擇性溶解銦。雖然這種方法環保，但目前其效率相對較低，仍處在研究階段。火法冶金回收中，高溫熔煉將含銦廢料與還原劑（例如焦炭）一同進行高溫熔煉。在熔煉過程中，銦會富集在煙塵或熔渣中，隨后需要進一步的二次處理來進行提純。這種方法適用于大規模的回收操作，但能耗相對較高。
ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個步驟：
1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進行收集，并根據其種類、純度等進行分類。
2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續處理。
3. 化學分離：采用化學方法將粉末中的銦、錫等元素進行有效分離。
4. 提純與精煉：對分離出的銦、錫等元素進行提純和精煉，得到高純度的金屬產品。
5. 再加工：將提純后的金屬產品加工成新的靶材或其他產品，實現資源的循環利用。
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