光學領(lǐng)域:用于制造反射率與銀鏡一樣高但不會褪色的鏡,還可用于制造其他光學器件,如濾光片、光通信器件等。
其他領(lǐng)域:可用于制造低熔點合金,如 24%銦和 76%鎵的合金在室溫下為液態(tài),此外,還可用于制造整流器、熱敏電阻和光電導體等電氣組件。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。
防護措施
個人防護:操作時佩戴防靜電手套、護目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠離明火,廢棄靶材及碎屑應收集于專用容器中,按危險廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時需確保設(shè)備接地良好,防止電磁輻射對操作人員或周邊儀器的干擾。
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