粉末冶金法:通過(guò)將銦粉末在高溫下壓制和燒結(jié)成型,可有效控制雜質(zhì)含量,能制造出形狀復(fù)雜的靶材,制得的靶材具有較高的致密度和均勻性。
熔煉法:將銦材料加熱至熔點(diǎn)以上,使其成為液態(tài),然后通過(guò)鑄?;蚱渌尚凸に囍圃彀胁?,該方法簡(jiǎn)單快捷,但控制純度和均勻性相對(duì)較難。
光學(xué)領(lǐng)域:用于制造反射率與銀鏡一樣高但不會(huì)褪色的鏡,還可用于制造其他光學(xué)器件,如濾光片、光通信器件等。
其他領(lǐng)域:可用于制造低熔點(diǎn)合金,如 24%銦和 76%鎵的合金在室溫下為液態(tài),此外,還可用于制造整流器、熱敏電阻和光電導(dǎo)體等電氣組件。
先進(jìn)封裝技術(shù)
應(yīng)用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實(shí)現(xiàn)芯片與基板的電氣連接和熱傳導(dǎo)。
特點(diǎn):低熔點(diǎn)(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
濺射時(shí)間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時(shí)間。
靶材利用率:避免過(guò)度濺射導(dǎo)致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時(shí)需及時(shí)更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。

