半導(dǎo)體領(lǐng)域:純銦在半導(dǎo)體中用作薄膜層,銦靶材可用于制造高速電動(dòng)機(jī)的軸承涂層,使?jié)櫥途鶆蚍植?,還可用于半導(dǎo)體器件的制造,如集成電路、芯片等。
. 光通信器件
應(yīng)用:在光纖連接器、光調(diào)制器中作為鍍膜材料,提升光學(xué)元件的信號(hào)傳輸效率和穩(wěn)定性。
場(chǎng)景:數(shù)據(jù)中心高速光模塊、5G 前傳網(wǎng)絡(luò)的光器件制造。
銦靶是現(xiàn)代電子信息、新能源、高端制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的底層關(guān)鍵材料,其應(yīng)用深度和廣度直接反映一個(gè)國(guó)家在半導(dǎo)體、顯示、光伏等領(lǐng)域的技術(shù)水平。由于全球銦資源稀缺(主要伴生于鋅礦),且提純工藝復(fù)雜,銦靶的供應(yīng)鏈已成為各國(guó)關(guān)注的重點(diǎn)。未來(lái),隨著 5G、AI、新能源汽車等產(chǎn)業(yè)的爆發(fā),銦靶的需求將持續(xù)增長(zhǎng),同時(shí)推動(dòng)高純銦(99.999% 以上)制備技術(shù)的不斷突破。
真空系統(tǒng)維護(hù)
腔體清潔:每次濺射后及時(shí)清理腔體內(nèi)壁及基片臺(tái)的銦沉積層(銦延展性強(qiáng),易粘附在腔體表面,長(zhǎng)期積累可能導(dǎo)致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時(shí)檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。

