半導體領域：純銦在半導體中用作薄膜層，銦靶材可用于制造高速電動機的軸承涂層，使?jié)櫥途鶆蚍植迹€可用于半導體器件的制造，如集成電路、芯片等。
光伏領域：在薄膜太陽能電池中，銦靶材可作為光吸收層形成用的濺射靶，如 Cu-In-Ga-Se 系（CIGS 系）薄膜太陽能電池，有助于提高太陽能電池的轉換效率。
安裝前預處理
表面清潔：
用無水乙醇或丙酮擦拭靶材表面，去除油污、指紋及氧化層（可用無塵布蘸取溶劑沿同一方向擦拭，避免來回摩擦）。
若靶材表面有輕微氧化，可用細砂紙（800~1200 目）輕輕打磨，再用去離子水沖洗并干燥。
靶材檢查：
確認靶材無裂紋、孔洞或脫落（銦質地軟，運輸或安裝時易磕碰損傷）。
檢查靶材與靶架的適配性（如尺寸公差、導電性接觸點），確保安裝牢固。
真空系統維護
腔體清潔：每次濺射后及時清理腔體內壁及基片臺的銦沉積層（銦延展性強，易粘附在腔體表面，長期積累可能導致短路或影響真空度）。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭，或用軟質刮刀輕輕刮除（避免損傷腔體涂層）。
真空泵保養(yǎng)：定期更換真空泵油（因銦蒸氣可能污染泵油，建議每 200 小時檢查一次），防止油液粘度升高影響抽氣效率。
