集成電路(IC)制造
用途:作為金屬互連層或接觸電極材料,用于芯片內部的導電線路、晶體管電極等關鍵部位。
優(yōu)勢:銦的低熔點和高延展性使其易于加工成極薄的薄膜,滿足納米級制程對材料精度的要求。
先進封裝技術
應用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實現芯片與基板的電氣連接和熱傳導。
特點:低熔點(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
防護措施
個人防護:操作時佩戴防靜電手套、護目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠離明火,廢棄靶材及碎屑應收集于專用容器中,按危險廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時需確保設備接地良好,防止電磁輻射對操作人員或周邊儀器的干擾。
靶材回收與再利用
回收價值:報廢銦靶(含濺射過程中產生的碎屑、廢膜)可通過化學溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達 95% 以上),降低生產成本。
環(huán)保要求:回收過程中產生的廢水需處理至重金屬排放標準(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。

