熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機械強度,同時有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質在室溫下對銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結處理來提高其機械性能。
純化技術
區(qū)熔法:一種通過熔化和重新結晶來純化材料的方法,可有效去除銦中的雜質,提高其純度。
電解精煉:利用電化學反應將銦從雜質中分離出來。將銦材料作為陽極,置于電解液中,通過施加電流使銦離子在陰極上沉積,從而得到高純度的銦。
化學純化:利用化學反應去除銦中的雜質,例如通過溶劑萃取和化學沉淀等方法,可有效分離和去除雜質,提高銦的純度。
科研與前沿技術
1. 量子計算與超導器件
探索應用:銦薄膜作為超導材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制備,利用其超導電性實現低損耗量子信號傳輸。
2. 柔性電子與可穿戴設備
技術方向:在柔性電路板(FPC)、電子皮膚中作為可拉伸導電薄膜,利用銦的高延展性滿足器件形變需求。
濺射氣體控制
氣體純度:使用高純氬氣(99.999% 以上),避免氧氣、水汽混入導致銦靶氧化(氧化銦導電性下降,易形成電弧放電)。
氣壓調節(jié):
直流濺射(DC):氣壓通常為 0.1~10 Pa,低氣壓下濺射速率高但薄膜致密度低;高氣壓下薄膜均勻性好但沉積速率慢。
射頻濺射(RF):適用于絕緣基底,氣壓可略高于直流濺射,需根據薄膜厚度要求動態(tài)調整。

