碳化硅(SiC)緣何成為第三代半導體重要的材料?
在MOCVD反應設備的外延工藝中,襯底晶片由轉動的石墨盤基座或載盤進行支撐,石墨盤基座的材料性能具有關鍵影響,進而也影響著廢品率。
弘竣新材料采用德國SGL高純度等靜壓石墨,為石墨盤基座和載盤精心挑選合適的石墨等級,高精密度的加工確保載盤坑內具有均勻是的形貌和小的平整度偏差,保證產品的質量。可依據客戶不同的需求規(guī)格加工定制。
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