從化學(xué)角度看，ITO是一種復(fù)合氧化物，其性能很大程度上取決于氧化銦和氧化錫的比例。氧化銦提供高透明度，而氧化錫的摻雜則增強(qiáng)了材料的導(dǎo)電性。通過控制這兩者的配比，ITO能夠在保持光學(xué)透明的同時(shí)，具備接近金屬的導(dǎo)電能力。這種“透明卻導(dǎo)電”的特性，使得ITO成為制造透明導(dǎo)電膜的理想選擇。
盡管制備方法看似成熟，但實(shí)際操作中仍有不少難題需要攻克：
成分配比的性：氧化錫的摻雜量通常控制在5-10%之間，過高會(huì)導(dǎo)致透明度下降，過低則影響導(dǎo)電性。如何在微觀尺度上實(shí)現(xiàn)均勻混合，是一個(gè)技術(shù)挑戰(zhàn)。
靶材密度：低密度靶材在濺射時(shí)容易產(chǎn)生顆粒飛濺，導(dǎo)致薄膜出現(xiàn)缺陷。提高密度需要優(yōu)化壓制和燒結(jié)條件，但這往往伴隨著成本的上升。
微觀結(jié)構(gòu)的控制：靶材內(nèi)部的晶粒大小和分布會(huì)影響濺射的穩(wěn)定性。晶粒過大可能導(dǎo)致濺射不均，而過小則可能降低靶材的機(jī)械強(qiáng)度。
熱應(yīng)力管理：在高溫?zé)Y(jié)過程中，靶材可能因熱膨脹不均而產(chǎn)生裂紋，影響成品率。
這些難點(diǎn)要求制造商在設(shè)備、工藝和質(zhì)量控制上投入大量精力。
ITO靶材，即銦錫氧化物靶材，主要由氧化銦（In?O?）和氧化錫（SnO?）組成，其中氧化銦占比高達(dá)90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導(dǎo)電性和高透光性，成為液晶顯示器（LCD）、觸摸屏及太陽能電池等光電設(shè)備的理想材料。其晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，電導(dǎo)率高，確保了設(shè)備的運(yùn)行。
技術(shù)破局：從粗放走向精純
現(xiàn)代銦回收工藝已形成精細(xì)鏈條：
預(yù)處理與富集：機(jī)械破碎液晶屏 → 高溫焚燒去除有機(jī)物 → 酸溶浸出（常用硫酸/鹽酸），將銦等金屬轉(zhuǎn)入溶液。
深度分離提純（核心技術(shù)）：
溶劑萃取法：利用特定有機(jī)溶劑（如P204）選擇性“捕獲”溶液中的銦離子，實(shí)現(xiàn)與鐵、鋅、錫等雜質(zhì)的深度分離，富集倍數(shù)可達(dá)千倍。
離子交換法：功能樹脂吸附銦離子，適用于低濃度溶液提純。
電解沉積：對(duì)富銦溶液通電，在陰極析出粗銦。
高純精煉：對(duì)粗銦進(jìn)行真空蒸餾、區(qū)域熔煉等，去除微量雜質(zhì)（如鎘、鉛），產(chǎn)出純度高達(dá)99.99%（4N）以上的精銦，滿足高端ITO靶材要求。
綠色升級(jí)：循環(huán)經(jīng)濟(jì)的必由之路
相比開采原生礦（主要來自鋅冶煉副產(chǎn)品），從電子垃圾中回收銦具有顯著優(yōu)勢(shì)：
資源保障：1噸廢棄液晶面板可提取200-300克銦，品位遠(yuǎn)超原礦。
節(jié)能減排：回收能耗僅為原生銦生產(chǎn)的1/3，大幅降低碳排放。
環(huán)境友好：減少電子垃圾填埋污染，避免采礦生態(tài)破壞。
經(jīng)濟(jì)可行：銦價(jià)高企（曾超1000美元/公斤）賦予回收強(qiáng)勁動(dòng)力。
