閉環(huán)之困：損耗與機(jī)遇并存
ITO靶材在濺射鍍膜過程中利用率通常僅30%左右，大量含銦廢料（廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料）隨之產(chǎn)生。過去，這些價值的廢料往往被簡單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系，成為破解資源約束的黃金路徑。
銦在半導(dǎo)體、液晶顯示器等電子器件的生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。銦靶材通常用于物相沉積（PVD）工藝中，制造薄膜。然而，銦靶材的成本高昂，且供應(yīng)有限，因此從廢棄或用過的靶材中回收銦變得至關(guān)重要。
銦靶材回收的主要任務(wù)是將銦從靶材中的其他金屬和材料中分離出來，并將其提純至高純度?；厥辗椒òɑ鸱?、濕法和電化學(xué)法。
火法冶金工藝使用高溫熔煉和精煉來回收銦。這種方法適用于大規(guī)?；厥?，但存在一些缺點(diǎn)，如產(chǎn)生危險廢物、高能耗，以及可能損失有價值的銦。
濕法冶金工藝?yán)没瘜W(xué)浸出劑將銦從靶材中溶解出來。這種方法比火法更環(huán)保，適用于從成分復(fù)雜的靶材中回收銦。然而，這一過程可能較為復(fù)雜，需要使用危險化學(xué)品。
電化學(xué)過程通過電流將銦從靶材中溶解和回收。這種方法也比火法更環(huán)保，可以回收較高純度的銦。但這一過程可能較為復(fù)雜，需要專門的設(shè)備和專業(yè)知識。
提純銦的方法包括蒸餾法、電解法和區(qū)域精煉法。蒸餾通過高溫蒸發(fā)和冷凝來提純銦。電解利用電流來提純銦。區(qū)域精煉則通過移動的熔融區(qū)來提純銦。
