在回收含銦靶粉時,需特別注意以下幾點:
1.儲存條件:廢靶粉應(yīng)密封保存于干燥、無酸堿性氣體侵蝕的環(huán)境中,防止氧化或變質(zhì)。
2.防護:操作人員需佩戴防護用具,避免直接接觸化學(xué)試劑或吸入粉塵。
3.廢水廢氣處理:回收過程中產(chǎn)生的廢液和氣體應(yīng)經(jīng)過妥善處理,達標(biāo)后方可排放。
4.設(shè)備維護:定期檢查回收設(shè)備的運行狀態(tài),確保工藝流程的穩(wěn)定性和效率。
ITO靶材回收是一個專業(yè)且復(fù)雜的過程,通常包括以下幾個步驟:
首先是收集和分類。不同來源的ITO廢料需要按照其形態(tài)和成分進行分類,這直接影響后續(xù)的處理方式和回收效率。來自生產(chǎn)過程的邊角料與使用后的廢舊靶材在處理上會有所區(qū)別。
接下來是預(yù)處理階段。這一環(huán)節(jié)包括去除廢料表面的污染物、破碎和研磨等步驟,目的是使物料達到適合化學(xué)處理的粒度和純度要求。預(yù)處理的質(zhì)量直接關(guān)系到后續(xù)金屬回收的效率和純度。
然后是化學(xué)處理過程。通過酸溶等方法將ITO廢料中的銦和錫等金屬轉(zhuǎn)入溶液,再利用沉淀、萃取或電解等分離技術(shù),將不同的金屬成分分離開來。這一步驟技術(shù)要求較高,需要控制反應(yīng)條件以確保金屬回收率和產(chǎn)品純度。
是精煉和產(chǎn)品制備?;厥盏玫降慕饘俳?jīng)過進一步提純后,可以重新用于生產(chǎn)新的ITO靶材或其他含銦產(chǎn)品,完成資源的循環(huán)利用。
ITO靶材回收技術(shù)的核心在于如何、經(jīng)濟地從復(fù)雜混合物中提取高純度的金屬。不同形態(tài)的廢料可能需要采用不同的回收工藝。
對于濺射后的廢舊靶材,由于表面結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,且可能含有其他雜質(zhì),需要特別設(shè)計的處理流程。而生產(chǎn)過程中的邊角料通常成分相對單一,處理起來更為簡便。
現(xiàn)代回收技術(shù)越來越注重環(huán)境友好性,努力減少化學(xué)試劑的使用量,提高試劑的循環(huán)利用率,同時妥善處理過程中產(chǎn)生的廢水、廢氣,確保整個回收過程符合環(huán)保要求。
含銦靶粉主要來源于工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的銦靶材。這些靶材在濺射工藝中逐漸磨損,形成細(xì)小的粉末。這些粉末雖然不能再用于原有的生產(chǎn)工藝,但仍然含有較高比例的銦元素。由于其化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,回收過程中需要專業(yè)的技術(shù)手段來提取和純化。

