主要應(yīng)用場景
半導(dǎo)體封裝載板:實現(xiàn)芯片與基板的電連接,提升散熱效率。
PCB 高頻載板:增強信號傳輸穩(wěn)定性,降低損耗。
精密電子載板:提高表面耐磨性和抗腐蝕能力,延長使用壽命。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設(shè)備可加工尺寸高達(dá) 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)處理:對于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
通訊載板電鍍加工關(guān)鍵技術(shù)
電鍍液配方優(yōu)化:為了實現(xiàn)高精度的電鍍效果,需要針對不同的鍍層和工藝要求,優(yōu)化電鍍液配方。例如,銅鍍液中銅離子濃度、硫酸濃度以及添加劑的種類和含量等都需要控制,以保證鍍層的均勻性、致密度和附著力。
添加劑控制:添加劑在通訊載板電鍍中起著關(guān)鍵作用,通過控制抑制劑、光亮劑和整平劑等添加劑的濃度和比例,可以實現(xiàn)超細(xì)線路的均勻電鍍,避免出現(xiàn)鍍層橋連、空洞等缺陷。
設(shè)備與工藝參數(shù)調(diào)控:先進(jìn)的電鍍設(shè)備能夠控制電場、電流密度、溫度、時間等參數(shù),確保電鍍過程的穩(wěn)定性和一致性。例如,在脈沖電鍍中,通過合理設(shè)置脈沖參數(shù),可以改善鍍層的結(jié)晶結(jié)構(gòu),提高鍍層的性能。
通訊載板電鍍加工常見鍍層類型及作用
銅鍍層:是通訊載板中最主要的導(dǎo)電層,用于線路互聯(lián),其厚度通常根據(jù)具體需求在 1-20μm 之間,要求具有高導(dǎo)電性、良好的附著力和抗電遷移性能,以保證信號的傳輸和載板的長期可靠性。
鎳鍍層:常作為中間阻擋層,防止銅擴(kuò)散,同時提高后續(xù)鍍層的結(jié)合力,厚度一般在 0.5-2μm。
金鍍層:主要用于表面焊接 / 鍵合層,如芯片鍵合或引腳焊接,具有良好的導(dǎo)電性、抗腐蝕性和可焊性,厚度通常在 0.1-1μm,可分為硬金和軟金,硬金耐磨性好,軟金易鍵合。
錫鍍層:是一種低成本的焊接層,可替代部分金鍍層,用于載板的表面焊接,厚度一般在 1-3μm,要求無針孔、可焊性好。
