核心工藝特點(diǎn)
鍍層材質(zhì)以銅、鎳、金、錫為主,適配不同電子場(chǎng)景需求。
對(duì)鍍層均勻性、厚度精度要求,通常需控制在微米級(jí)。
需結(jié)合載板材質(zhì)(如陶瓷、樹(shù)脂、硅)定制前處理和電鍍參數(shù)。
面板級(jí)加工:扇出型封裝常采用面板級(jí)封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級(jí)電鍍?cè)O(shè)備可加工尺寸高達(dá) 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級(jí)封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(pán)(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對(duì)鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個(gè) /cm2。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)處理:對(duì)于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時(shí)需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
工藝流程
前處理:包括對(duì)載板進(jìn)行開(kāi)槽、打通孔等操作,然后將載板貼在承載膠上,植入芯片和金屬塊,進(jìn)行次塑封,形成塑封層;之后拆除承載膠,對(duì)一次塑封件另一面進(jìn)行第二次塑封,形成第二塑封層。
電鍍準(zhǔn)備:在塑封層和第二塑封層上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金屬塊,然后對(duì)盲孔進(jìn)行真空濺射,并在二次塑封件的上、下兩面建立種子層。
電鍍沉積:通過(guò)電解或化學(xué)沉積方式,讓金屬離子在載板表面沉積形成所需的鍍層,如銅、鎳、金、錫等鍍層,在電鍍過(guò)程中需要控制電場(chǎng)、電鍍液成分、溫度、電流密度等參數(shù),以確保鍍層的質(zhì)量和性能。
后處理:電鍍完成后,進(jìn)行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對(duì)鍍層進(jìn)行檢測(cè),如檢測(cè)鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
通訊載板電鍍加工工藝特點(diǎn)
高精度要求:通訊載板通常需要處理超細(xì)線路,線寬 / 焊盤(pán)尺寸常小于 20μm,鍍層厚度偏差需控制在 ±10% 以內(nèi),部分場(chǎng)景甚至要求≤±8%,以保證信號(hào)的穩(wěn)定傳輸。
高可靠性:通訊設(shè)備需要在各種環(huán)境下穩(wěn)定工作,因此通訊載板電鍍層需具備良好的附著力,如銅鍍層附著力≥0.8N/mm,同時(shí)要通過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的濕熱試驗(yàn)、鹽霧試驗(yàn)等可靠性測(cè)試,以確保在惡劣環(huán)境下不出現(xiàn)鍍層脫落、腐蝕等問(wèn)題。
高頻性能優(yōu)化:為滿足通訊領(lǐng)域高頻信號(hào)傳輸?shù)男枨?,電鍍工藝需通過(guò)脈沖電鍍等技術(shù)控制銅晶粒取向,降低信號(hào)傳輸損耗,如在 5G 基站射頻板中,可降低 10GHz 毫米波傳輸損耗。
