表面平整度高:為減少信號散射,電鍍層需具備的表面平整度,特別是在微帶線、共面波導等結構中,通常要求鍍層表面粗糙度 Ra前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
工藝適配相關故障
線路橋連 / 短路:超細線路(≤10μm 線寬)間出現(xiàn)鍍層粘連,多因光刻膠顯影不徹底、電鍍時金屬離子過度沉積,或鍍液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔內出現(xiàn)空洞、凹陷,影響層間導通和散熱。成因是鍍液流動性不足、電流密度未針對深寬比優(yōu)化,或添加劑中整平劑含量不足。
基材損傷:特殊基材(如 PTFE)出現(xiàn)翹曲、開裂,多因電鍍溫度過高(超過基材耐熱極限),或前處理化學藥劑腐蝕基材表面。
基材預處理:奠定結合與信號基礎
先進行除油脫脂,用堿性或中性清洗劑去除基材表面油污、指紋,避免影響鍍層附著力。
針對 PTFE、羅杰斯等特殊基材,需額外做等離子體活化 / 化學粗化,提升表面活性與粗糙度。
通過微蝕 + 水洗,去除表面氧化層,同時形成均勻微觀粗化面,增強后續(xù)種子層結合力。
