IC 載板電鍍加工是半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
關(guān)鍵成本與質(zhì)量控制點
成本核心:金鹽、銅鹽等貴金屬原料占比高(約占原材料成本的 30%-40%),細線路加工導(dǎo)致的良率損耗會顯著推高單位成本。
質(zhì)量控制:需檢測鍍層厚度(XRF 檢測)、附著力(膠帶測試)、耐腐蝕性(鹽霧測試),以及線路完整性(AOI 檢測)。
工藝流程
前處理:包括對載板進行開槽、打通孔等操作,然后將載板貼在承載膠上,植入芯片和金屬塊,進行次塑封,形成塑封層;之后拆除承載膠,對一次塑封件另一面進行第二次塑封,形成第二塑封層。
電鍍準備:在塑封層和第二塑封層上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金屬塊,然后對盲孔進行真空濺射,并在二次塑封件的上、下兩面建立種子層。
電鍍沉積:通過電解或化學(xué)沉積方式,讓金屬離子在載板表面沉積形成所需的鍍層,如銅、鎳、金、錫等鍍層,在電鍍過程中需要控制電場、電鍍液成分、溫度、電流密度等參數(shù),以確保鍍層的質(zhì)量和性能。
后處理:電鍍完成后,進行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對鍍層進行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
通訊載板電鍍加工關(guān)鍵技術(shù)
電鍍液配方優(yōu)化:為了實現(xiàn)高精度的電鍍效果,需要針對不同的鍍層和工藝要求,優(yōu)化電鍍液配方。例如,銅鍍液中銅離子濃度、硫酸濃度以及添加劑的種類和含量等都需要控制,以保證鍍層的均勻性、致密度和附著力。
添加劑控制:添加劑在通訊載板電鍍中起著關(guān)鍵作用,通過控制抑制劑、光亮劑和整平劑等添加劑的濃度和比例,可以實現(xiàn)超細線路的均勻電鍍,避免出現(xiàn)鍍層橋連、空洞等缺陷。
設(shè)備與工藝參數(shù)調(diào)控:先進的電鍍設(shè)備能夠控制電場、電流密度、溫度、時間等參數(shù),確保電鍍過程的穩(wěn)定性和一致性。例如,在脈沖電鍍中,通過合理設(shè)置脈沖參數(shù),可以改善鍍層的結(jié)晶結(jié)構(gòu),提高鍍層的性能。
