關鍵成本與質(zhì)量控制點
成本核心:金鹽、銅鹽等貴金屬原料占比高(約占原材料成本的 30%-40%),細線路加工導致的良率損耗會顯著推高單位成本。
質(zhì)量控制:需檢測鍍層厚度(XRF 檢測)、附著力(膠帶測試)、耐腐蝕性(鹽霧測試),以及線路完整性(AOI 檢測)。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設備可加工尺寸高達 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復雜結(jié)構(gòu)處理:對于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
通訊載板電鍍加工工藝特點
高精度要求:通訊載板通常需要處理超細線路,線寬 / 焊盤尺寸常小于 20μm,鍍層厚度偏差需控制在 ±10% 以內(nèi),部分場景甚至要求≤±8%,以保證信號的穩(wěn)定傳輸。
高可靠性:通訊設備需要在各種環(huán)境下穩(wěn)定工作,因此通訊載板電鍍層需具備良好的附著力,如銅鍍層附著力≥0.8N/mm,同時要通過長時間的濕熱試驗、鹽霧試驗等可靠性測試,以確保在惡劣環(huán)境下不出現(xiàn)鍍層脫落、腐蝕等問題。
高頻性能優(yōu)化:為滿足通訊領域高頻信號傳輸?shù)男枨?,電鍍工藝需通過脈沖電鍍等技術控制銅晶粒取向,降低信號傳輸損耗,如在 5G 基站射頻板中,可降低 10GHz 毫米波傳輸損耗。
通訊載板電鍍加工工藝流程
前處理:包括對載板進行激光鉆微導通孔、去鉆污等操作,然后用化學鍍銅或碳直接金屬化工藝等進行初級金屬化,形成一層薄的導電晶種層,為后續(xù)電鍍做準備。
圖形電鍍:在經(jīng)過前處理的載板上,通過光刻技術形成圖形,然后進行電鍍,在線路 / 焊盤區(qū)域電鍍厚銅,通常厚度在 5-20μm,以實現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐。
表面處理電鍍:根據(jù)需求在載板表面電鍍鎳、鈀、金等鍍層,如采用 ENEPIG/ENIG 工藝,提升焊盤的抗氧化性與鍵合可靠性。
后處理:電鍍完成后,進行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對鍍層進行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
