表面平整度高:為減少信號(hào)散射,電鍍層需具備的表面平整度,特別是在微帶線、共面波導(dǎo)等結(jié)構(gòu)中,通常要求鍍層表面粗糙度 Ra前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對(duì)于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
圖形電鍍:通過(guò)光刻技術(shù)定義線路圖形,然后對(duì)圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線主體。對(duì)于高頻高速線路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
圖形電鍍:加厚功能鍍層
優(yōu)先采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,在線路裸露區(qū)域沉積銅層(厚度 5-15μm),保證鍍層結(jié)晶細(xì)密、低電阻率。
關(guān)鍵區(qū)域(如射頻接口、連接器)需進(jìn)行選擇性電鍍,額外沉積金、銀等低損耗鍍層,厚度根據(jù)需求控制在 0.1-3μm。
電鍍過(guò)程中嚴(yán)格控制電流密度(1-5A/dm2)、鍍液溫度(20-30℃)及攪拌速度,確保鍍層均勻性與平整度。
