工藝流程
前處理:包括對(duì)載板進(jìn)行開槽、打通孔等操作,然后將載板貼在承載膠上,植入芯片和金屬塊,進(jìn)行次塑封,形成塑封層;之后拆除承載膠,對(duì)一次塑封件另一面進(jìn)行第二次塑封,形成第二塑封層。
電鍍準(zhǔn)備:在塑封層和第二塑封層上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金屬塊,然后對(duì)盲孔進(jìn)行真空濺射,并在二次塑封件的上、下兩面建立種子層。
電鍍沉積:通過電解或化學(xué)沉積方式,讓金屬離子在載板表面沉積形成所需的鍍層,如銅、鎳、金、錫等鍍層,在電鍍過程中需要控制電場(chǎng)、電鍍液成分、溫度、電流密度等參數(shù),以確保鍍層的質(zhì)量和性能。
后處理:電鍍完成后,進(jìn)行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對(duì)鍍層進(jìn)行檢測(cè),如檢測(cè)鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
關(guān)鍵技術(shù)
電鍍液配方:例如酸性銅盲孔填充電鍍液通常為高濃度的銅(200g/L 至 250g/L 硫酸銅)和較低濃度的酸(約 50g/L 硫酸),并添加抑制劑、光亮劑和整平劑等有機(jī)添加劑,以控制電鍍速率,獲得良好的填充效果和物理特性。
添加劑控制:通過控制添加劑的濃度和比例,利用抑制劑、光亮劑和整平劑的不同作用,實(shí)現(xiàn)盲孔的自下而上填充,避免大凹陷、敷形填充等問題,同時(shí)保證鍍層的均勻性和表面質(zhì)量。
核心適用場(chǎng)景
消費(fèi)電子載板:手機(jī)、電腦的 PCB 主板、柔性載板,需輕量化、高導(dǎo)電鍍層。
工業(yè)電子載板:工控設(shè)備、汽車電子的耐高溫載板,側(cè)重鍍層穩(wěn)定性和抗老化性。
特種電子載板:醫(yī)療設(shè)備、航空航天用載板,要求鍍層低雜質(zhì)、高可靠性。
半加成工藝載板電鍍是一種用于制造高精度電子載板的工藝方法,在半導(dǎo)體封裝等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:
工藝原理:半加成法(SAP)的核心是通過 “逐步沉積銅層” 形成電路。先在絕緣基板表面制備超薄導(dǎo)電層,即種子層,再通過光刻技術(shù)定義線路圖形,對(duì)圖形區(qū)域電鍍加厚銅層,去除多余部分后形成完整電路。改良型半加成法(mSAP)則是在基板上預(yù)先貼合 3-9μm 的超薄低輪廓銅箔作為基銅,再進(jìn)行后續(xù)操作。
工藝流程
基材準(zhǔn)備:使用表面平整的超薄銅箔基板或無銅基材,如 1-2μm 厚銅層的基板或 ABF 薄膜等。
化學(xué)沉銅:通過化學(xué)沉積在基材表面形成 0.3-0.8μm 的薄銅層,作為導(dǎo)電基底,即種子層。
圖形電鍍銅:對(duì)露出的種子層區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,使線路達(dá)到設(shè)計(jì)厚度,通常至 5-15μm,形成導(dǎo)線主體。
去膠與蝕刻:移除光刻膠或干膜,然后蝕刻掉未被電鍍覆蓋的薄種子層銅,由于種子層厚度極薄,蝕刻側(cè)蝕極小。
表面處理:進(jìn)行沉金、OSP、沉錫等表面處理,以滿足后續(xù)封裝和焊接等工藝的要求。
