1、高純鉍靶材加工工藝流程

原料

原料檢測

成 型

熱 處 理

機加工成型

選用進口或

國產(chǎn)高純鉍

碳硫分析儀，氧氮分析儀，ICP，XRD，GDMS。

熱等靜壓,真空感應熔煉

電子束熔煉,懸浮熔煉等

晶粒細化

切割，磨床，銑床，車床，CNC。

成品檢測

綁定

探傷掃描

合格

包裝出庫

交付客戶

檢測成品外觀尺寸公差

金屬化

綁定

專用包裝

2、應用領域機設備

2-1適用設備：適用于北方華創(chuàng)、中科科儀、沈陽科儀、中電科、微電子所、南光機器廠、金盛微納、泰科諾、Kurt J.Lesker 愛發(fā)科、丹頓真空等各種單靶濺射系統(tǒng)，多靶濺射系統(tǒng)，離子濺射系統(tǒng)等磁控濺射設備。

2-2應用領域：生產(chǎn)及科研<s