北京研拓科技有限公司成立于2005年,是一家致力于射頻技術、特種電源和真空測試等領域生產和研發(fā)的高新技術產業(yè)。
2006年由COMDEL公司投資成立COMDEL北京維修中心,負責中國區(qū)射頻電源的維修和服務。2008年升級為COMDEL中國辦事處,主要負責:
◆中國區(qū)射頻電源的銷售
◆中國區(qū)射頻電源的維修(保修期內免費)
◆售前售后技術咨詢和服務
◆ 客戶現場技術
射頻領域:先后為應用材料公司、牛津儀器、諾發(fā)科技等國際知名設備供應商提供維修和技術支持等服務。
產品種類:
◆ 單頻射頻電源
◆ 雙頻射頻電源
◆ 直流電源
◆ ESC靜電卡盤電源
◆ 自動調諧匹配網絡
應用對象包括:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統(tǒng),也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應加熱和電介質加熱設備的電源
目前,由北京研拓科技有限公司成功研制的國產自動匹配器正式投入市場使用。并與電源完全獨立,可配置國產、進口任何品牌的射頻電源,具有低成本、高性價比、質量可靠、服務優(yōu)良等優(yōu)勢。
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